ALD PLD用高濃度臭氧發(fā)生器    SD H30

加拿大SD H30 臭氧發(fā)生器，適用于需要高濃度臭氧的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，ALD、PLD、MBE、CVD等；以及任何含臭氧的水處理應(yīng)用，因?yàn)槌粞踉诟邼舛认戮哂懈呷芙舛取?/span>

SD H30臭氧發(fā)生器是一款專為半導(dǎo)體和ALD（原子層沉積）應(yīng)用設(shè)計(jì)的高效臭氧發(fā)生器。其主要特點(diǎn)包括：

高臭氧產(chǎn)量：僅需4 SLPM氧氣即可產(chǎn)生30 g/h的臭氧，適合高濃度需求。

高臭氧濃度：臭氧濃度可達(dá)22 wt%（310 mg/L），滿足半導(dǎo)體和ALD實(shí)驗(yàn)的高純度要求。

低流量氧氣需求：僅需4 SLPM氧氣，節(jié)省氣源成本。

耐壓范圍廣：標(biāo)準(zhǔn)耐壓15-35 PSI，可選高壓15-85 PSI，適應(yīng)多種實(shí)驗(yàn)條件。

模塊化設(shè)計(jì)：支持臺(tái)式或機(jī)架安裝，可擴(kuò)展至5 kg/h以上。

緊湊尺寸：體積小巧（35.5*38*17.8 cm），適合實(shí)驗(yàn)室空間有限的環(huán)境。

風(fēng)冷設(shè)計(jì)：無需冷卻水，在高溫環(huán)境（+35℃）下也能穩(wěn)定運(yùn)行。

遠(yuǎn)程控制：支持遠(yuǎn)程臭氧輸出控制，操作便捷。

ALD PLD用高濃度臭氧發(fā)生器特點(diǎn)

高純度臭氧輸出：該設(shè)備通常具備高精度的臭氧濃度控制，確保臭氧純度，適合對(duì)氣體純度要求高的實(shí)驗(yàn)。

穩(wěn)定性和可靠性：采用先技術(shù)和高質(zhì)量材料，確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，減少實(shí)驗(yàn)中斷風(fēng)險(xiǎn)。

精確控制：具備精確的流量和濃度控制功能，滿足ALD實(shí)驗(yàn)中對(duì)氣體流量和濃度的嚴(yán)格要求。

低維護(hù)成本：設(shè)計(jì)上注重耐用性和易維護(hù)性，降低長(zhǎng)期使用中的維護(hù)和更換成本。

安全性：配備多重安全保護(hù)機(jī)制，如過載保護(hù)、泄漏檢測(cè)等，確保實(shí)驗(yàn)安全。

緊湊設(shè)計(jì)與易安裝性：小巧尺寸和模塊化設(shè)計(jì)適合空間有限的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

風(fēng)冷技術(shù)：無需冷卻水，降低運(yùn)行成本，適合長(zhǎng)期使用。

技術(shù)支持與售后服務(wù)：北京同林提供完善的技術(shù)支持和售后服務(wù)，幫助用戶解決使用中的問題。

相關(guān)型號(hào)

高濃度版 SD H30

耐高壓版 SD P30