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中圖儀器NS系列國產(chǎn)探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

中圖儀器NS系列納米級高精度臺階儀用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，集成超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

中圖儀器VT6000材料表面共聚焦測量顯微鏡是基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000激光共聚焦微觀幾何輪廓測量儀以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等實現(xiàn)器件表面形貌3D測量，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器NS系列探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，單拱龍門式設計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。

SuperViewW1白光干涉3D顯微檢測儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。